废气净化设备的净化率较高，针对不同的废气介质使用不同的废气净化方法，目前常用的方法有吸附法，燃烧法，低温等离子净化法，催化氧化法等，下面介绍一下每种方法的具体工艺流程。

　　燃烧法：直接燃烧又称直接火焰燃烧，是用可燃有害废气当作燃料来燃烧的方法。显然，能采用直接燃烧法来处理的废气应当是可燃组分含量较高，或燃烧氧化放出热量较高，能维持持续燃烧的气体混合物。

　　吸附法：废气经过滤、冷却等预处理过程后，由风机送入吸附器自下而上通过床层，VOC被吸附剂吸附，净化气从顶部离开吸附器。吸附剂达到饱和时，切换至另一台吸附器，用加热或减压方式对饱和吸附剂进行解吸。装置连续运行。

　　低温等离子净化法：利用外加电压产生高能等离子体去激活、电离、裂解VOCs组分，使之发生分解、氧化等一系列复杂的化学反应，碳氢化合物最终转化为无害的CO2和水。

　　催化氧化法：催化氧化技术是典型的气—固相催化过程，反应中挥发性有机废气在催化剂的作用下发生完全氧化反应。催化剂的作用是降低反应的活化能，同时使反应物分子富集于催化剂表面，提高反应速率，借助催化剂可以使有机废气在较低的起燃温度下发生无火焰燃烧，并氧化为二氧化碳和水，同时放出大量的热。